利用電子束穿透超薄樣品成像,分辨率可達(dá)0.1nm,是研究材料原子結(jié)構(gòu)和納米材料的利器。
通過(guò)掃描電子束探測(cè)樣品表面信號(hào),實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌和成分分析,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)。
使用聚焦離子束進(jìn)行納米加工、TEM樣品制備和三維重構(gòu),是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵工具。
基于量子隧穿效應(yīng),實(shí)現(xiàn)原子級(jí)表面形貌成像和單原子操控,開(kāi)創(chuàng)了納米技術(shù)新時(shí)代。
通過(guò)原子間作用力探測(cè)表面形貌,適用于導(dǎo)電/絕緣樣品,可在大氣或液相環(huán)境中工作。
結(jié)合TEM和SEM優(yōu)勢(shì),HAADF-STEM可實(shí)現(xiàn)原子序數(shù)襯度成像,是材料表征的強(qiáng)大工具。
專注于電子顯微鏡技術(shù)在材料科學(xué)中的應(yīng)用研究。
研究方向包括:高分辨電子顯微學(xué)、STEM成像技術(shù)、圖像處理算法開(kāi)發(fā)。
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